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電化學(xué)拋光是一種陽極反應(yīng)，它可視為電鍍過程的反過程。制件作為陽極置于特種電解液中(見圖員原，電流接通后，制件的表面將發(fā)生金屬的電化學(xué)溶解，在金屬晶格內(nèi)的金屬原子會脫離晶格而移動到晶格外，并進(jìn)一步離子化而形成金屬離子和放出電子。

形成水合離子

金屬離子可以和電拋光液中的水分子發(fā)生水合反應(yīng)而形成水合配離子，并通過擴(kuò)散和泳動而分散到本體電解液中。

形成配離子

在本體溶液中的配體或配位劑載會通過擴(kuò)散或泳動而到達(dá)陽極界面并與金屬表面上的金屬離子形成各種形式的配離子，如[醞載]妞源，它也會通過擴(kuò)散和泳動而分散到本體電解液中。

形成黏液膜或不溶性膜

當(dāng)陽極上積聚了金屬離子，且表面上的配體量少于形成單一金屬離子的可溶性配離子時，此時就可能形成含多個金屬離子的多核配離子

，它常以聚合物鏈的形式出現(xiàn)，具有較高的黏度，因此被人們稱為黏液膜。若形成的醞載，形式的中性沉淀，則形成的膜稱為不溶性膜。黏液膜和不溶性膜只在金屬表面是穩(wěn)定的，當(dāng)它遇到由本體溶液擴(kuò)散而至的配體載時，它可進(jìn)一步被載配位而形成可溶性的單核配合物腳城，從而使膜層溶解。

當(dāng)陽極電位較正時，陽極周圍的羥基離子也可在陽極上放電而析出氧氣。氧氣可使金屬氧化而形成氧化物膜。此外金屬離子也可與羥基離子直接反應(yīng)而形成金屬氫氧化物或水合氧化物。