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　　此項誤差來源是指被測件或儀器元件在測量過程中受力產生彈性變形而引起的測量誤差。具體地說,有以下幾種情況

　　(1)壓陷量差值儀器調零位時,測量頭對工作臺(絕對測量時)或對基準件(相對測量時)表面的壓陷量與測量時對工作表面的壓陷量之間的差值,將造成測量誤差。壓陷量W的大小,與測量力、接觸方式、接觸面的材料、接觸件的尺寸等因素有關。

　　(2)儀器構件變形在有測量力的情況下,儀器的框架及有關構件會產生彈性變形。如果調零時和測量時的變形量有差值,則造成測量誤差。這種誤差可通過試驗法測定變形量而求。

　　顯然,保持調零時與測量時的測量力穩定,是消除或減小該項誤差的主要途徑。

　　(3)被測件自重變形對于剛度弱的細長被測件而言,除了因測量力引起的變形外,其本身自重所造成的彎曲變形也會導致不可忽略的測量誤差。

　　為了減小此項誤差,根據材料力學的理論,正確地選擇支承點的位量,以適應不同的要求是很重要的。除了合理選定支承點位置外還可使用可調節的輔助支承,以減速小變形。