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　　常用金屬拋光機(jī)中電子束加工與其他加工方法相比,有許多特點(diǎn)。

　　1)束徑小、能量密度高　電子束能夠極其微細(xì)的囊焦,東徑可達(dá)100~0.01ym范圍。同時(shí),***小束徑的電子束長(zhǎng)度可達(dá)其束徑的幾十倍,故能適于深孔加工。

　　2)被加工對(duì)象范圍廣　常用金屬拋光機(jī)中電子束加工是靠熱效應(yīng)和化學(xué)效應(yīng),熱影響范圍可以很小,又是在真空中進(jìn)行,加工處化學(xué)純度高,故適于加工各種硬、膽、韌性金屬和非金屬材料、熱敏材料、易氧化金屬及合金、高純度半導(dǎo)體材料等。由于在加工時(shí)工件上很少產(chǎn)生應(yīng)力和變形,故適于加工易變形零件。

　　3)加工速度快、效率高。

　　4)控制性能***,易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化可通過(guò)磁場(chǎng)或電場(chǎng)對(duì)電子束的強(qiáng)度、束徑、位置進(jìn)行迅速準(zhǔn)確地控制,且自動(dòng)化程度高。易于加工圖形、圓孔、異形孔、盲孔、錐孔、彎孔及狹縫

　　電子束加工的應(yīng)用范圍很廣,可用來(lái)打各種孔、切槽、焊接、光刻、表面改性等,常用金屬拋光機(jī)中既是種精密加工方法,又是一種重要的微細(xì)加工方法。近年來(lái),出現(xiàn)了多脈沖電子束照射等技術(shù),使電子束加工有了更進(jìn)一步的發(fā)展。