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　　在微位移的范圍內(nèi),為使工作臺具有較高的分辨力,希塑驅(qū)動力或輸人位移的微小變化微動工作臺應(yīng)有所響應(yīng),因此導(dǎo)軌副間的摩擦力及其特性變化,對微動工作臺的微位移特性有著重要的影響。

　　滑動導(dǎo)軌摩擦力不是常數(shù),受靜動摩擦系數(shù)的影響較大摩擦力隨相對靜止持續(xù)時間的增加而增加,隨相對滑動速度的增加而減小。滾動導(dǎo)雖然岸擦力的平均值很小,但是由于滾動體和導(dǎo)軌面的制造誤差、表面的平面度誤差以及隔離架的滑動,使?jié)L動摩擦力在較大的范國內(nèi)變動,而引起較大的隨機誤差,因此當(dāng)滾動導(dǎo)軌作微小間歌運動時,與滑動導(dǎo)軌運動特性圖13工作臺和傳動相類似。也就是說,在微位移范圍內(nèi),動導(dǎo)軌和滑動導(dǎo)軌都系統(tǒng)模型存在靜、動摩擦力之差,均不適合作微動工作臺。

　　可見,系統(tǒng)的分辨力受靜、動摩擦力之差△F和傳動系統(tǒng)的剛度k的影響,欲提高分辨力應(yīng)減小靜、動摩擦力之差和提高系統(tǒng)的剛度。

　　滑動導(dǎo)軌靜、動摩擦力之差較大,潨動導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)復(fù)雜、抗振性差、對臟物敏感,因此兩種導(dǎo)軌均不適合作微動工作臺。

　　彈性導(dǎo)軌是利用受力后發(fā)生彈性變形來實現(xiàn)微位移,故僅存在彈性材料內(nèi)部分子之間的內(nèi)摩擦,而且沒有間隙,具有高的位移分辨力,是較理想的微位移機。