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　　實(shí)現(xiàn)微位移的方案比較多,用途很廣泛,應(yīng)根據(jù)不同的用途,合理選取不同的方案。設(shè)計(jì)原則為,滿足微位移行程及分辨率,經(jīng)濟(jì)合理;結(jié)構(gòu)緊湊。作為微動(dòng)補(bǔ)償?shù)奈?dòng)工作臺(tái),除滿足上述要求外,還應(yīng)具有良***的靜、動(dòng)態(tài)特性精密微動(dòng)工作臺(tái)的設(shè)計(jì)要求

　　作為理想的精密微動(dòng)工作臺(tái),應(yīng)滿足下列要求:

　　1)微動(dòng)工作臺(tái)的支承或?qū)к壐睉?yīng)無機(jī)被摩擦和無間隙,具有高的位移分辨率和高的定位精度和重復(fù)精度,滿足工作行程要求。

　　2)微動(dòng)工作臺(tái)本身應(yīng)具有高的幾何精度,即顛擺、滾擺和搖擦誤差小,同時(shí)穩(wěn)定可靠。

　　3)微動(dòng)工作臺(tái)應(yīng)具有較高的固有頻率,以保證良***的動(dòng)態(tài)特性和抗干擾能力,即******采用直接驅(qū)動(dòng)方式,無傳動(dòng)環(huán)節(jié)。

　　4)微動(dòng)系統(tǒng)便于控制,而且響應(yīng)速度快。