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　　電子束加工裝量主要由電子槍系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和電源系統(tǒng)等組成,如圖67所示。

　　電子槍用來(lái)發(fā)射高速電子流,它是在真空條件下,利用電流加熱陰極1發(fā)射電子束,經(jīng)控制柵極2初步聚焦后,由加速陽(yáng)極3加速。陰極可用純鎢、鎢鉭、硼化等材料制成?？刂茤艠O為中間有孔的圓筒,在其上加比陰極較負(fù)的偏壓,起束流強(qiáng)度控制和初步聚焦作用。在加速陽(yáng)極上加比陰極為正的高壓,起吸引和加速電子流的作用。

　　真空系統(tǒng)是抽真空,真空度為133×(10-2~104)Pa,因?yàn)樵谡婵罩须娮硬拍芨咚龠\(yùn)動(dòng),發(fā)射陰極不會(huì)在高溫下被氧化,同時(shí)也防止被加工表面和金屬燕氣氧化。為了消除加工時(shí)金屬蒸氣對(duì)電子發(fā)射不穩(wěn)定的影響,電子束加工多采用開式真空系統(tǒng),即不斷地抽出加工中產(chǎn)生的金屬蒸氣。

　　控制系統(tǒng)由聚焦裝置、偏轉(zhuǎn)裝量和工作臺(tái)位移裝置等組成,控制電子束束斑大小、方向和工件位移。

　　電源系統(tǒng)提供穩(wěn)壓電源、各種控制電壓及加速電壓。