制造技術(shù)的發(fā)展已有幾千年的歷史,從石器時代、銅器時代、鐵器時代到現(xiàn)代的高分子塑料時代;從手工制作、機器制作到現(xiàn)代的智能控制自動化制作;同時,從一般精度加工、精密加工到超精密加工,現(xiàn)在已達到廣為流傳的納米加工境界,并逐漸接近加工精度和表面質(zhì)量的極限,代表了當前先進制造技術(shù)的一個重要方面。因此,精密加工和超精密加工代表了加工精度發(fā)展的不同階段,由于生產(chǎn)制造技術(shù)的不斷發(fā)展,劃分的界限將隨著歷史進程而逐漸向前推移,過去的精密加工對今天來說已是一般加工,其劃分的界限是相對的,并且在具體的精度數(shù)值上至今沒有確切的定義。
當前,精密加工是指加工精度為1~0.1pm、表面粗糙度為R,0.1~0.01pm的加工技術(shù),超精密加工是指加工誤差小于0.1jm,表面粗糙度小于R.0.025pm的加工技術(shù),又稱之為亞微米級加工。但是,目前超精密加工已進入納米級,并稱之為納米加工及相應(yīng)的納米技術(shù)。
從精密加工和超精密加工的范疇來看,它應(yīng)該包括徽細加工和超微細加工、光整加工和精整加工等加工技術(shù)。
微細加工和超微細加工技術(shù)是指制造微小尺寸零件的加工技術(shù),它們是針對集成電路的制造要求而提出的,由于尺寸微小,其精度是用切屑的大小來表示的,而不是像一般尺寸那樣,用所加工尺寸與尺寸誤差的值來表示。
光整加工技術(shù),一般是指降低表面粗糙度值和提高表面層力學(xué)及機械性質(zhì)的加工方法,不強調(diào)加工精度的提高。近年來,提出了相對應(yīng)的精整加工概念,強調(diào)了精度和表面質(zhì)量兩個方面。但從光整加工和精整加工的概念上來說,含有毛刺加工方面。