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　　水合拋光是利用在工件界面上產(chǎn)生的水合反應(yīng)的新型高效、超精密拋光方法。其主要特點是不使用磨粒和加工液,而加工裝置又與當(dāng)前使用的拋光機相似,只是在水燕氣環(huán)境中進行加工。因此,要盡量避免使用能與工件產(chǎn)生固相反應(yīng)的材料作拋光盤。在普通拋光機上,給拋光工件的部位加上耐熱材料罩,使工件在過熱水燕氣介質(zhì)中進行拋光。通過加熱,可調(diào)節(jié)水蒸氣介質(zhì)的溫度。隨著拋光盤的旋轉(zhuǎn),工件保持架在它上邊作往復(fù)運動。

　　在水合拋光過程中,兩個物體產(chǎn)生相對摩擦,在接觸區(qū)產(chǎn)生高溫高壓,工件表面上的原子或分子呈活性化。利用過熱水燕氣分子和水作用其表面,使之在界面上形成水合化層。借助過熱水蒸氣(不是用游離磨粒)或在一個大氣壓的水蒸氣環(huán)境條件下利用外來的摩擦力從工件表面上將該水合化層分離、去除,去除量(厚度)為零點幾個納米,所以可獲得無劃痕、平滑光澤無略變的潔凈面。